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TOF-SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术,它通过一次离子束脉冲轰击样品表面,层叠碰撞产生二次离子,根据二次离子飞行时间分离不同质荷比离子,对被轰击的样品表面(1-3个原子层)进行分析,能够检测包括氢在内的全部元素及其同位素的信息,并能分析化合物组分和分子构成。
广泛应用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、玻璃、环境、生命科学、刑侦等领域的各种固体材料的分析,提供样品表面、界面、薄层详细信息。
热点领域:
半导体: 表面沾污、工艺处理后表面残余物和缺陷分析,超浅层深度剖析等
新能源电池: SEI/CEI膜、电解液与添加剂作用机制研究等
生物医学:代谢组学、脂质组学、药物亚细胞分布和作用机制研究等
先进材料:材料结构与功效分析
25kV高能量液态金属离子枪(LMIG)结合防振框架,空间分辨率和质量分辨率更优
LMIG可进行数字扫描,配置成像系统可实现纳米级成像分析
二次电子检测系统,实现表面形貌成像与束流调谐
5keV气体溅射枪系统,支持刻蚀清洁与深度剖析,揭示三维结构
电子脉冲中和,可分析导电和绝缘样品
可选SIMS库包含上千种材料的质谱数据,可识别未知的化合物和材料
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