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飞行时间二次离子质谱仪

飞行时间二次离子质谱仪SurfaceSeer S

产品概述

TOF-SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术，它通过一次离子束脉冲轰击样品表面，层叠碰撞产生二次离子，根据二次离子飞行时间分离不同质荷比离子，对被轰击的样品表面（1-3个原子层）进行分析，能够检测包括氢在内的全部元素及其同位素的信息，并能分析化合物组分和分子构成。

应用范围

广泛应用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、玻璃、环境、生命科学、刑侦等领域的各种固体材料的分析，提供样品表面、界面、薄层详细信息。

热点领域：
半导体： 表面沾污、工艺处理后表面残余物和缺陷分析，超浅层深度剖析等
新能源电池： SEI/CEI膜、电解液与添加剂作用机制研究等
先进材料：材料结构与功效分析

产品特点

极高的表面灵敏度，可获取ppm级灵敏度数据

低能电子枪(5KV 铯/氧离子束)超短脉冲技术，实现样品“无损”分析

高传输效率TOF分析器，聚合物等低产率材料仍达5000计数/秒(cps)

电子脉冲中和，可分析导电和绝缘样品

可在1~2min内实现高速率的正负SIMS分析

可选静态二次离子质谱谱库，包含1900多个谱图和涵盖1000 多种材料数据

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