半导体行业过程气体分析解决方案

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半导体行业过程气体分析解决方案

  电子特种气体(电子特气)主要包括电子气体、高纯气体和标准气体,在半导体和微电子工业中应用广泛,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的重要材料,由于在半导体等电子工业生产中的重要作用,电子特气被称为电子工业的“血液”。

电子特气的品质主要取决于其纯度和净度,一旦纯度或是净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成严重浪费。

为了保证产品的合格率,避免经济损失,半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求,通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度,以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。

雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案,在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前,就开启连续监测,并通过自主研发的软件包实时分析和反馈,满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。

对关键的工艺气体进行连续检测:包括O2N2H2He、Ar、CO、CO2等。

对主要的工艺杂质ppt级)进行连续检测:例如O2H2O、CH4NMHC等。

 

 

 

  1.预纯化过程气体监测

电子特气的供应方式有多种形式,包括现场空分装置、长管拖车和大型储罐等。半导体制造商对气体纯度有严格的纯度要求,通常会在生产点或供气的入口处对电子特气进行纯度检测。

 

2.后纯化过程气体监测

许多半导体制造商会使用大型纯化装置,对进入设施的大流量气体进行纯化,再次确保进入制造过程的电子特气是高度纯净的气体,此为后纯化装置。在一个晶圆制造的设备中,通常会在多个位置安装在线分析仪,对每种工艺气体后纯化过程进行实时监控。

半导体晶圆制造过程有百余道工序,在各个环节中需要多种电子特气,一旦发现气体污染问题,即使马上阻断气体输送至生产线,关闭生产之前已经发生的产品损失也无法避免,而且生产线停工后,彻底地检查和清理设备并切换至其他供应商的气体需要一定的时间,造成的损失不可估量。所以对预纯化和后纯化过程气体进行在线监测,实时保障气体的纯度尤为重要!

雪迪龙旗下全资子公司ORTHODYNE提供的分析设备性能稳定,分析精度高,其优异的质量和专业的服务深受客户的认可。

 

 

 

ORTHOPure HDID-ppt-ppb-ppm

  HDID/HE系列利用氦离子化检测器来测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)、氪气(Kr)或氙气(Xe)中的痕量杂质气体,包括氖气(Ne)、氢气(H2)、氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、氪气(Kr)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氙气(Xe)等。 

 

 

 

DID/Ar-ppb-ppm

  DID/AR系列利用氩离子化检测器来测量氩气(Ar)中微量杂质气体,包括氢(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)等。 

 

 

 

ORTHOPure FID-ppt-ppb-ppm

  FID系列利用火焰离子检测器来测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)或空气中杂质气体,包括甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、非甲烷碳氢化合物(NMHC)等。 

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